瓦克完成高纯氯化氢装置扩建 增强半导体蚀刻和清洗服务能力

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近日，瓦克化学股份有限公司宣布，在博格豪森生产基地完成高纯氯化氢生产扩建工程，新设备于7月中投入使用，大幅度地提高了生产基地的总产能。新增产量的客户来自半导体工业，他们在生产中需要使用高纯氯化氢作为蚀刻及清洗介质。瓦克化学集团为新设备投资数千万欧元，扩建产能，加强面向半导体工业的特种产品组合。

氯化氢在化学工业中用途广泛。这种反应气体可用来将低能量原料转变为供下游生产使用的反应性中间体，例如，瓦克使用氯化氢为太阳能及半导体工业生产有机硅、气相二氧化硅和多晶硅。

这种无色的水溶性气体也是半导体工业的重要加工助剂。在那里，氯化氢被用于蚀刻超纯硅片和清洗设备部件。为避免污染，这些介质必须高度纯净。“近年来，由于成本和质量原因，许多竞争对手放弃了氯化氢生产。这种情况，再加上市场对半导体组件的需求不断增长，致使高纯氯化氢目前供不应求。”瓦克董事会成员柯思腾博士（Dr. Christian Kirsten）介绍说。

瓦克是欧洲很少几家能够以所需质量和足够数量提供氯化氢的厂商之一。瓦克为博格豪森生产基地最近完成的包括基础设施在内的产能扩建工程投资数千万欧元。柯思腾博士指出：“瓦克的电子化学品业务发展势头非常喜人，增长前景广阔。数字化转型不仅会使电脑芯片需求不断增长，对高纯氯化氢这样的工艺介质的需求同样如此。随着产能扩建，我们也能够在今后继续满足市场所需。”

瓦克用自有施特滕盐矿开采的岩盐生产氯化氢，那里出产的岩盐的成分和纯度在此尤为适用。瓦克有机硅业务部门总裁Thomas Koini博士介绍说：“半导体级氯化氢目前为止的纯净度基准值为99.9979%，而瓦克氯化氢的纯度达到了99.9995%，比市场上其它任何氯化氢的纯度都要高得多，也能在未来满足芯片行业对纯度的要求。”

除氯化氢外，瓦克这家化学集团还为半导体工业生产其它专用化学品，产品组合包括超纯硅片涂层用前驱物，以及作为磨料供化学机械抛光剂（CMP slurry）使用的气相二氧化硅等。此类产品的客户主要是一些为半导体生产商提供加工助剂和其它专用化学品的国际气体供应商。 瓦克在博格豪森生产基地增建一条高纯氯化氢生产线：这种化学品是半导体工业的重要加工助剂。来源：慧正资讯

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